| Номер документа в системі: | 33098 |
| Автор: | Александров В. К., Биенко О. Н., Ильин В. Н. |
| Назва документа: | Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов |
| Видавництво: | Наука и техника |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.383.004+681.2.082.52 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 681.7 |
| Кількість сторінок | 238 с. |