| Номер документа в системі: | 43135 |
| Автор: | Багрий И. П., Чечко Г. А. |
| Назва документа: | Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС |
| Видавництво: | АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова |
| Місто видання: | Киев |
| Рік видання: | 1989 |
| УДК | 621.3.049.77.002:621.794.4 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 20 с. |